Все книги автора В. Ю. Васильев
Найдено 5 книг
Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пле...
Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ...
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в прои...
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных пред...
Современное производство изделий микроэлектроники
Современное производство изделий микроэлектроники
В учебном пособии рассмотрена совокупность вопросов, связанных с организацией современной микроэлект...
Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов о...
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интеграл...