Все книги автора Юрий Панфилов
Найдено 2 книг
Формирование функциональных слоев Формирование функциональных слоев
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газ...
Элионные процессы и нанотехнологии Элионные процессы и нанотехнологии
Методические материалы содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведени...