0.0
0 оценок
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
Где можно прочитать
Litres.ru
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий